Es gibt drei Arten von Kristallstrukturen in Siliziumnitrid (Si3N4), die drei Phasen von α, β und γ sind. Die beiden Phasen α und β sind die häufigsten Formen von Si3N4 und können unter Normaldruck hergestellt werden. Die γ-Phase kann nur unter hohem Druck und hoher Temperatur synthetisiert werden und ihre Härte kann 35 GPa erreichen.
Hexagonales β-Si3N4 kann direkt mit elementarem Silizium und Stickstoff kombiniert werden, um Siliziumnitrid bei 1300-1400 obtain zu erhalten:
3 Si (s) {{16}} 2 N2 (g) → Si3N4 (s) kann auch mit Diimid SiCl4 (l) ≤ 6 NH3 (g) → Si (NH) 2 (s) ≤ 4 NH4Cl (s) synthetisiert werden ) bei 0 ℃ Unter den Bedingungen von 3 Si (NH) 2 (s) → Si3N4 (s) + N2 (g) + 3 H2 (g) unter 1000 ℃ oder durch carbothermische Reduktionsreaktion unter 1400-1450 ℃ Stickstoff: 3 SiO2 (s) ≤ 6 C (s) ≤ 2 N 2 (g) → Si 3 N 4 (s) ≤ 6 CO (g)
